Optical emission, electron temperature, and microstructure of Cu film prepared by magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

Optical emission, electron temperature, and microstructure of Cu film prepared by magnetron sputtering

Zhao, Q. X. / Bian, F. / Zhou, Y. / Gao, Y. F. / Wang, S. B. / Ma, L. / Yan, Z. / Liu, B. T.

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Titel:

Optical emission, electron temperature, and microstructure of Cu film prepared by magnetron sputtering

Beteiligte:

Zhao, Q. X. (Autor:in) / Bian, F. (Autor:in) / Zhou, Y. (Autor:in) / Gao, Y. F. (Autor:in) / Wang, S. B. (Autor:in) / Ma, L. (Autor:in) / Yan, Z. (Autor:in) / Liu, B. T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 62 ; 4140-4142

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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