High-resolution transmission electron microscopy (HRTEM) observation of dislocation structures in AlN thin films: Fid-Bau Portal

High-resolution transmission electron microscopy (HRTEM) observation of dislocation structures in AlN thin films

Tokumoto, Y. / Shibata, N. / Mizoguchi, T. / Sugiyama, M. / Shimogaki, Y. / Yang, J.-S. / Yamamoto, T. / Ikuhara, Y.

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Titel:

High-resolution transmission electron microscopy (HRTEM) observation of dislocation structures in AlN thin films

Beteiligte:

Tokumoto, Y. (Autor:in) / Shibata, N. (Autor:in) / Mizoguchi, T. (Autor:in) / Sugiyama, M. (Autor:in) / Shimogaki, Y. (Autor:in) / Yang, J.-S. (Autor:in) / Yamamoto, T. (Autor:in) / Ikuhara, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 23 ; 2188-2194

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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