Accurate SIMS depth profiling for ultra-shallow implants using backside SIMS: Fid-Bau Portal

Accurate SIMS depth profiling for ultra-shallow implants using backside SIMS

Hongo, C. / Tomita, M. / Takenaka, M. / Murakoshi, A.

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Titel:

Accurate SIMS depth profiling for ultra-shallow implants using backside SIMS

Beteiligte:

Hongo, C. (Autor:in) / Tomita, M. (Autor:in) / Takenaka, M. (Autor:in) / Murakoshi, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 203-204 ; 264-267

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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