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Novel ceria-polymer microcomposites for chemical mechanical polishing

Coutinho, C. A. / Mudhivarthi, S. R. / Kumar, A. / Gupta, V. K.

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Titel:

Novel ceria-polymer microcomposites for chemical mechanical polishing

Beteiligte:

Coutinho, C. A. (Autor:in) / Mudhivarthi, S. R. (Autor:in) / Kumar, A. (Autor:in) / Gupta, V. K. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 3090-3096

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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