Interface metallization and electrical characterization of Ta-Pt multilayers on n-type SiC: Fid-Bau Portal

Interface metallization and electrical characterization of Ta-Pt multilayers on n-type SiC

Yang, H. / Peng, T. H. / Wang, W. J. / Wang, W. Y. / Chen, X. L.

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Titel:

Interface metallization and electrical characterization of Ta-Pt multilayers on n-type SiC

Beteiligte:

Yang, H. (Autor:in) / Peng, T. H. (Autor:in) / Wang, W. J. (Autor:in) / Wang, W. Y. (Autor:in) / Chen, X. L. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 3121-3125

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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