Investigation of Defect Formation in 4H-SiC(0001) and (000-1) Epitaxy: Fid-Bau Portal

Investigation of Defect Formation in 4H-SiC(0001) and (000-1) Epitaxy

Tsuchida, H. / Kamata, I. / Nagano, M.

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Titel:

Investigation of Defect Formation in 4H-SiC(0001) and (000-1) Epitaxy

Beteiligte:

Tsuchida, H. (Autor:in) / Kamata, I. (Autor:in) / Nagano, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 600/603 ; 267-272

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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