Structure and mechanical properties of reactive sputtering CrSiN films: Fid-Bau Portal

Structure and mechanical properties of reactive sputtering CrSiN films

Zhang, G. / Wang, L. / Wang, S. C. / Yan, P. / Xue, Q.

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Titel:

Structure and mechanical properties of reactive sputtering CrSiN films

Beteiligte:

Zhang, G. (Autor:in) / Wang, L. (Autor:in) / Wang, S. C. (Autor:in) / Yan, P. (Autor:in) / Xue, Q. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 4425-4429

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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