Synthesis of Ti-Si-N nanocomposite coatings by a novel cathodic arc assisted middle-frequency magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

Synthesis of Ti-Si-N nanocomposite coatings by a novel cathodic arc assisted middle-frequency magnetron sputtering

Yang, Z. T. / Yang, B. / Guo, L. P. / Fu, D. J.

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Titel:

Synthesis of Ti-Si-N nanocomposite coatings by a novel cathodic arc assisted middle-frequency magnetron sputtering

Beteiligte:

Yang, Z. T. (Autor:in) / Yang, B. (Autor:in) / Guo, L. P. (Autor:in) / Fu, D. J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 4720-4724

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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