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Investigation of thin TiO2 films cosputtered with Si species

Hsu, J. C. / Lee, C. C. / Chen, H. L. / Kuo, C. C. / Wang, P. W.

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Titel:

Investigation of thin TiO2 films cosputtered with Si species

Beteiligte:

Hsu, J. C. (Autor:in) / Lee, C. C. (Autor:in) / Chen, H. L. (Autor:in) / Kuo, C. C. (Autor:in) / Wang, P. W. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 4852-4858

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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