High-power laser interference lithography process on photoresist: Effect of laser fluence and polarisation: Fid-Bau Portal

High-power laser interference lithography process on photoresist: Effect of laser fluence and polarisation

Ellman, M. / Rodriguez, A. / Perez, N. / Echeverria, M. / Verevkin, Y. K. / Peng, C. S. / Berthou, T. / Wang, Z. / Olaizola, S. M. / Ayerdi, I.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

High-power laser interference lithography process on photoresist: Effect of laser fluence and polarisation

Ellman, M. / Rodriguez, A. / Perez, N. / Echeverria, M. / Verevkin, Y. K. / Peng, C. S. / Berthou, T. / Wang, Z. / Olaizola, S. M. / Ayerdi, I.

High-power laser interference lithography process on photoresist: Effect of laser fluence and polarisation

Ellman, M. / Rodriguez, A. / Perez, N. / Echeverria, M. / Verevkin, Y. K. / Peng, C. S. / Berthou, T. / Wang, Z. / Olaizola, S. M. / Ayerdi, I.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

High-power laser interference lithography process on photoresist: Effect of laser fluence and polarisation

Beteiligte:

Ellman, M. (Autor:in) / Rodriguez, A. (Autor:in) / Perez, N. (Autor:in) / Echeverria, M. (Autor:in) / Verevkin, Y. K. (Autor:in) / Peng, C. S. (Autor:in) / Berthou, T. (Autor:in) / Wang, Z. (Autor:in) / Olaizola, S. M. (Autor:in) / Ayerdi, I. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 5537-5541

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Liu, J. / Sun, S. / Guan, Y. | British Library Online Contents | 2009

IP-Dip photoresist surfaces for photonic applications prepared by laser lithography and studied by AFM

Durisova, Jana / Pudis, Dusan / Goraus, Matej et al. | British Library Online Contents | 2018

High fluence visible and ultraviolet laser ablation of metallic targets

Amoruso, S. / Armenante, M. / Berardi, V. et al. | British Library Online Contents | 1998

Femtosecond laser ablation of copper at high laser fluence: Modeling and experimental comparison

Cheng, C. W. / Wang, S. Y. / Chang, K. P. et al. | British Library Online Contents | 2016

Ion implantation induced by Cu ablation at high laser fluence

Torrisi, L. / Mezzasalma, A. M. / Gammino, S. et al. | British Library Online Contents | 2006

Nach oben