Effect of N~2O Plasma Treatment on Luminescence of Silicon-rich Silicon Nitride Films: Fid-Bau Portal

Effect of N~2O Plasma Treatment on Luminescence of Silicon-rich Silicon Nitride Films

Cai, W.-h. / Huang, J.-h. / Li, D.-s. / Yang, D.-r.

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Titel:

Effect of N~2O Plasma Treatment on Luminescence of Silicon-rich Silicon Nitride Films

Beteiligte:

Cai, W.-h. (Autor:in) / Huang, J.-h. (Autor:in) / Li, D.-s. (Autor:in) / Yang, D.-r. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -HANGZHOU- ; 27 ; 132-134

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

1673-2812

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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