Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Preparation of silicon carbide nitride thin films by sputtering of silicon nitride target
Preparation of silicon carbide nitride thin films by sputtering of silicon nitride target
Preparation of silicon carbide nitride thin films by sputtering of silicon nitride target
APPLIED SURFACE SCIENCE ; 173 ; 313-317
01.01.2001
5 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
621.35
© Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.
SILICON NITRIDE SPUTTERING TARGET, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND SILICON NITRIDE FILM
| Europäisches Patentamt | 2022
Sputtering Preparation of Silicon Nitride Thin Films for Gate Dielectric Applications
| British Library Online Contents | 2004
Preparation method of silicon nitride@silicon carbide@boron nitride composite fiber felt
| Europäisches Patentamt | 2021
Method for preparing silicon nitride or silicon nitride/silicon carbide composite powder
| Europäisches Patentamt | 2015