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    Titel:

    Quantitative study of the Si/SiO2 phase separation in substoichiometric silicon oxide films

    Beteiligte:

    Nicotra, G. (Autor:in) / Spinella, C. (Autor:in) / La Magna, A. (Autor:in) / Bongiorno, C. (Autor:in) / Rimini, E. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B ADVANCED FUNCTIONAL SOLID STATE MATERIALS ; 159-160 ; 80-82

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2009

    Format / Umfang:

    3 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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