Effects of the amount of Si rings on the phase separation and crystallization of silicon-rich SiO2 thin films: Fid-Bau Portal

Effects of the amount of Si rings on the phase separation and crystallization of silicon-rich SiO2 thin films

Sun, Z. / Huang, J. / Wang, L. / Tang, B.

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Titel:

Effects of the amount of Si rings on the phase separation and crystallization of silicon-rich SiO2 thin films

Beteiligte:

Sun, Z. (Autor:in) / Huang, J. (Autor:in) / Wang, L. (Autor:in) / Tang, B. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 349 ; 839-843

Erscheinungsdatum:

01.01.2015

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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