Nanocavities in silicon: An infrared investigation of internal surface reconstruction after hydrogen implantation: Fid-Bau Portal

Nanocavities in silicon: An infrared investigation of internal surface reconstruction after hydrogen implantation

Romano, E. / Narducci, D. / Corni, F. / Frabboni, S. / Ottaviani, G. / Tonini, R. / Cerofolini, G. F.

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Titel:

Nanocavities in silicon: An infrared investigation of internal surface reconstruction after hydrogen implantation

Beteiligte:

Romano, E. (Autor:in) / Narducci, D. (Autor:in) / Corni, F. (Autor:in) / Frabboni, S. (Autor:in) / Ottaviani, G. (Autor:in) / Tonini, R. (Autor:in) / Cerofolini, G. F. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B ADVANCED FUNCTIONAL SOLID STATE MATERIALS ; 159-160 ; 173-176

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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