Crystalline Quality and Surface Morphology of 3C-SiC Films on Si Evaluated by Electron Channeling Contrast Imaging: Fid-Bau Portal

Crystalline Quality and Surface Morphology of 3C-SiC Films on Si Evaluated by Electron Channeling Contrast Imaging

Picard, Y.N. / Locke, C. / Frewin, C.L. / Twigg, M.E. / Saddow, S.E.

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Titel:

Crystalline Quality and Surface Morphology of 3C-SiC Films on Si Evaluated by Electron Channeling Contrast Imaging

Beteiligte:

Picard, Y.N. (Autor:in) / Locke, C. (Autor:in) / Frewin, C.L. (Autor:in) / Twigg, M.E. (Autor:in) / Saddow, S.E. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 615/617 ; 435-438

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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