SiC Freestanding Micromechanical Structures on Silicon-On-Insulator Substrates: Fid-Bau Portal

SiC Freestanding Micromechanical Structures on Silicon-On-Insulator Substrates

Placidi, M. / Zielinski, M. / Abadal, G. / Montserrat, J. / Godignon, P.

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Titel:

SiC Freestanding Micromechanical Structures on Silicon-On-Insulator Substrates

Beteiligte:

Placidi, M. (Autor:in) / Zielinski, M. (Autor:in) / Abadal, G. (Autor:in) / Montserrat, J. (Autor:in) / Godignon, P. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 615/617 ; 617-620

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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