SLM-based maskless lithography for TFT-LCD: Fid-Bau Portal

SLM-based maskless lithography for TFT-LCD

Kim, K. R. / Yi, J. / Cho, S. H. / Kang, N. H. / Cho, M. W. / Shin, B. S. / Choi, B.

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Titel:

SLM-based maskless lithography for TFT-LCD

Beteiligte:

Kim, K. R. (Autor:in) / Yi, J. (Autor:in) / Cho, S. H. (Autor:in) / Kang, N. H. (Autor:in) / Cho, M. W. (Autor:in) / Shin, B. S. (Autor:in) / Choi, B. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 7835-7840

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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