Replication of mold for UV-nanoimprint lithography using AAO membrane: Fid-Bau Portal

Replication of mold for UV-nanoimprint lithography using AAO membrane

Zhou, W. / Zhang, J. / Li, X. / Liu, Y. / Min, G. / Song, Z.

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Titel:

Replication of mold for UV-nanoimprint lithography using AAO membrane

Beteiligte:

Zhou, W. (Autor:in) / Zhang, J. (Autor:in) / Li, X. (Autor:in) / Liu, Y. (Autor:in) / Min, G. (Autor:in) / Song, Z. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 8019-8022

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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