Low pressure chemical vapor deposition of niobium coating on silicon carbide: Fid-Bau Portal

Low pressure chemical vapor deposition of niobium coating on silicon carbide

Liu, Q. / Zhang, L. / Cheng, L. / Liu, J. / Wang, Y.

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Titel:

Low pressure chemical vapor deposition of niobium coating on silicon carbide

Beteiligte:

Liu, Q. (Autor:in) / Zhang, L. (Autor:in) / Cheng, L. (Autor:in) / Liu, J. (Autor:in) / Wang, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 8611-8615

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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