Tribological reliability of MEMS multilayered thin films: Fid-Bau Portal

Tribological reliability of MEMS multilayered thin films

Trinkle, S. / Al-Haik, M. / Sumali, H.

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Titel:

Tribological reliability of MEMS multilayered thin films

Beteiligte:

Trinkle, S. (Autor:in) / Al-Haik, M. (Autor:in) / Sumali, H. (Autor:in) / Taha, M.R. / Al-Haik, M.

Erschienen in:

NANOTECHNOLOGY FOR STRUCTURAL MATERIALS ; 201-216

INTERNATIONAL JOURNAL OF MATERIALS AND STRUCTURAL INTEGRITY ; 3

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

16 pages

ISSN:

1745-0055

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.112

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