Direct current magnetron sputtering deposition of InN thin films: Fid-Bau Portal

Direct current magnetron sputtering deposition of InN thin films

Cai, X. M. / Hao, Y. Q. / Zhang, D. P. / Fan, P.

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Titel:

Direct current magnetron sputtering deposition of InN thin films

Beteiligte:

Cai, X. M. (Autor:in) / Hao, Y. Q. (Autor:in) / Zhang, D. P. (Autor:in) / Fan, P. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 256 ; 43-45

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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