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    Dokumentinformationen
    Titel:

    UV excimer laser drilled high aspect ratio submicron via hole

    Beteiligte:

    Chen, K. H. (Autor:in) / Wu, W. (Autor:in) / Chu, B. H. (Autor:in) / Chang, C. Y. (Autor:in) / Lin, J. (Autor:in) / Pearton, S. J. (Autor:in) / Norton, D. P. (Autor:in) / Ren, F. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 256 ; 183-186

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2009

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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