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    Titel:

    Ion-bombardment induced morphology change of device related SiGe multilayer heterostructures

    Beteiligte:

    Hofer, C. (Autor:in) / Teichert, C. (Autor:in) / Oehme, M. (Autor:in) / Werner, J. (Autor:in) / Lyutovich, K. (Autor:in) / Kasper, E. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 256 ; 267-273

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2009

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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