Pyramid-like nanostructures created by Si homoepitaxy on Si(001): Fid-Bau Portal

Pyramid-like nanostructures created by Si homoepitaxy on Si(001)

Galiana, N. / Martin, P. P. / Munuera, C. / Varela, M. / Ocal, C. / Alonso, M. / Ruiz, A.

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Titel:

Pyramid-like nanostructures created by Si homoepitaxy on Si(001)

Beteiligte:

Galiana, N. (Autor:in) / Martin, P. P. (Autor:in) / Munuera, C. (Autor:in) / Varela, M. (Autor:in) / Ocal, C. (Autor:in) / Alonso, M. (Autor:in) / Ruiz, A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 12 ; 52-56

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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