Residual Strains in a Nanometer Thick Cr Film Measured on Micromachined Beams: Fid-Bau Portal

Residual Strains in a Nanometer Thick Cr Film Measured on Micromachined Beams

Zhou, Z.M. / Zhou, Y. / Cao, Y. / Mao, H.

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Titel:

Residual Strains in a Nanometer Thick Cr Film Measured on Micromachined Beams

Beteiligte:

Zhou, Z.M. (Autor:in) / Zhou, Y. (Autor:in) / Cao, Y. (Autor:in) / Mao, H. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY -SHENYANG- ; 25 ; 77-80

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1005-0302

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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