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    Titel:

    Characterization of Si-added aluminum oxide (AlSiO) films for power devices

    Beteiligte:

    Komatsu, N. (Autor:in) / Masumoto, K. (Autor:in) / Aoki, H. (Autor:in) / Kimura, C. (Autor:in) / Sugino, T. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 256 ; 1803-1806

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2010

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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