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Microstructure of microwave dielectricthin films by RF magnetron sputtering

Shi, F. / Cui, C.

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Titel:

Microstructure of microwave dielectricthin films by RF magnetron sputtering

Beteiligte:

Shi, F. (Autor:in) / Cui, C. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 256 ; 2626-2629

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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