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    Titel:

    Effects of sputtering pressure on microstructure and mechanical properties of ZrN films deposited by magnetron sputtering

    Beteiligte:

    Lin, Shaochen (Autor:in) / Zhang, Jian (Autor:in) / Zhu, Ruihua (Autor:in) / Fu, Shangchao (Autor:in) / Yun, Daqin (Autor:in)

    Erschienen in:

    Materials research bulletin ; 105 ; 231-236

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2018

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0025-5408

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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