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    Titel:

    Study on Improvement of Oxidation-Resistant Capability of Metal-Silicide Thin Film and Application to Heater

    Beteiligte:

    Hayashi, T. (Autor:in) / Satoh, M. (Autor:in) / Yoshikado, S. (Autor:in) / Takenaka, T. / Haneda, H. / Kato, K. / Takata, M. / Shinozaki, K.

    Erschienen in:

    Asian Ceramic Science for Electronics III and Electroceramics in Japan XII Proceedings of the 6th Asian Meeting on Electroceramics and the 28th Electronics Division Meeting of the Ceramic Society of Japan, Tsukuba, Japan, October 22-24, 2008 ; 169-172

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 421/422

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2010

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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