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    Titel:

    MEMS Reliability and Testing

    Beteiligte:

    Keener, M. (Autor:in) / Caswell, G. (Autor:in) / Schueller, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    ADVANCING MICROELECTRONICS ; 37 ; 14-19

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2010

    Format / Umfang:

    6 pages

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.381

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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