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A MEMS Capacitive Gyroscope with Improved Reliability

Liang, X.J. / Gao, S.Q.

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Titel:

A MEMS Capacitive Gyroscope with Improved Reliability

Beteiligte:

Liang, X.J. (Autor:in) / Gao, S.Q. (Autor:in) / Guo, D. / Wang, J. / Jia, Z. / Kang, R. / Gao, H. / Wang, X.

Erschienen in:

Advances in Materials Manufacturing Science and Technology XIII ; 341-346

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 628/629

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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