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    Titel:

    Hybrid plasma bonding of germanium and glass wafers at low temperature

    Beteiligte:

    Howlader, M. M. (Autor:in) / Kibria, M. G. (Autor:in) / Zhang, F. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS LETTERS ; 64 ; 1532-1535

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2010

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0167-577X

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.1105 / 530

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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