The influence of sputter deposition parameters on piezoelectric and mechanical properties of AlN thin films: Fid-Bau Portal

The influence of sputter deposition parameters on piezoelectric and mechanical properties of AlN thin films

Ababneh, A. / Schmid, U. / Hernando, J. / Sanchez-Rojas, J. L. / Seidel, H.

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Titel:

The influence of sputter deposition parameters on piezoelectric and mechanical properties of AlN thin films

Beteiligte:

Ababneh, A. (Autor:in) / Schmid, U. (Autor:in) / Hernando, J. (Autor:in) / Sanchez-Rojas, J. L. (Autor:in) / Seidel, H. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B ADVANCED FUNCTIONAL SOLID STATE MATERIALS ; 172 ; 253-258

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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