Nitrogen and Bias Effect on Homoepitaxial Diamond Growth by Hot-Filament Chemical Vapor Deposition: Fid-Bau Portal

Nitrogen and Bias Effect on Homoepitaxial Diamond Growth by Hot-Filament Chemical Vapor Deposition

Tsai, H.Y. / Chang, C.C. / Wu, C.W.

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Titel:

Nitrogen and Bias Effect on Homoepitaxial Diamond Growth by Hot-Filament Chemical Vapor Deposition

Beteiligte:

Tsai, H.Y. (Autor:in) / Chang, C.C. (Autor:in) / Wu, C.W. (Autor:in) / Wang, J. / Mathew, P. / Li, X. / Huang, C. / Zhu, H.

Erschienen in:

Advances in Materials Processing IX ; 510-515

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 443

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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