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Production, Characterization and Application of Silicon-on-Sapphire Wafers

Pramanik, A. / Liu, M. / Zhang, L.C.

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Titel:

Production, Characterization and Application of Silicon-on-Sapphire Wafers

Beteiligte:

Pramanik, A. (Autor:in) / Liu, M. (Autor:in) / Zhang, L.C. (Autor:in) / Wang, J. / Mathew, P. / Li, X. / Huang, C. / Zhu, H.

Erschienen in:

Advances in Materials Processing IX ; 567-572

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 443

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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