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    Titel:

    Thermal Effect Analysis of Femtosecond Laser Scribing of Silicon

    Beteiligte:

    Wan, D.P. (Autor:in) / Mathew, P. (Autor:in) / Wang, J. (Autor:in) / Wang, J. / Mathew, P. / Li, X. / Huang, C. / Zhu, H.

    Erschienen in:

    Advances in Materials Processing IX ; 687-692

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 443

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2010

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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