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Mechanical properties of the plasma-enhanced magnetron sputtering Si-C-N coatings

Wang, Y. / Li, Z. / Du, J. / Wang, B.

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Titel:

Mechanical properties of the plasma-enhanced magnetron sputtering Si-C-N coatings

Beteiligte:

Wang, Y. ( Autor:in ) / Li, Z. ( Autor:in ) / Du, J. ( Autor:in ) / Wang, B. ( Autor:in )

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 1-5

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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