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Microtool coatings using magnetron sputtering

Yang, S.C. / Cooke, K. / Aramcharoen, A. / Mativenga, P. / Teer, D.

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Titel:

Microtool coatings using magnetron sputtering

Beteiligte:

Yang, S.C. (Autor:in) / Cooke, K. (Autor:in) / Aramcharoen, A. (Autor:in) / Mativenga, P. (Autor:in) / Teer, D. (Autor:in)

Erschienen in:

Reactive Sputter Deposition ; 20-24

MATERIALS TECHNOLOGY ; 26

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1066-7857

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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