C-V analysis of rapidly thermal annealed SF6 plasma treated AlGaN/GaN heterostructures: Fid-Bau Portal

C-V analysis of rapidly thermal annealed SF6 plasma treated AlGaN/GaN heterostructures

Osvald, J. / Lalinsky, T. / Vanko, G. / Hascik, S. / Vincze, A.

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Titel:

C-V analysis of rapidly thermal annealed SF6 plasma treated AlGaN/GaN heterostructures

Beteiligte:

Osvald, J. (Autor:in) / Lalinsky, T. (Autor:in) / Vanko, G. (Autor:in) / Hascik, S. (Autor:in) / Vincze, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 1254-1256

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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