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Trends in semiconductor defect engineering at the nanoscale

Seebauer, E. G. / Noh, K. W.

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Titel:

Trends in semiconductor defect engineering at the nanoscale

Beteiligte:

Seebauer, E. G. (Autor:in) / Noh, K. W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING R REPORTS -LAUSANNE- ; 70 ; 151-168

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

18 pages

ISSN:

0927-796X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1 / 530

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