Micromachined thermoelectric IR sensors fabricated by a self-aligned process: Fid-Bau Portal

Micromachined thermoelectric IR sensors fabricated by a self-aligned process

Xu, D. / Xiong, B. / Wang, Y.

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Titel:

Micromachined thermoelectric IR sensors fabricated by a self-aligned process

Beteiligte:

Xu, D. (Autor:in) / Xiong, B. (Autor:in) / Wang, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

SMART MATERIALS AND STRUCTURES ; 20 ; 015013

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

15013 pages

ISSN:

0964-1726

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 530

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