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    Titel:

    Simple Nanoimprint Lithography with 50 nm Resolution Using Vacuum Packing

    Beteiligte:

    Itoh, K. (Autor:in) / Hirai, H. (Autor:in) / Ando, T. (Autor:in) / Takagi, K. (Autor:in) / Noguchi, K. (Autor:in) / Hanaizumi, O. / Unno, M.

    Erschienen in:

    Silicon Science and Advanced Micro-Device Engineering I ; 111-115

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 459

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2011

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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