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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Nanoimprint lithography: an alternative nanofabrication approach

    Beteiligte:

    Sotomayor Torres, C. M. (Autor:in) / Zankovych, S. (Autor:in) / Seekamp, J. (Autor:in) / Kam, A. P. (Autor:in) / Clavijo Cedeno, C. (Autor:in) / Hoffmann, T. (Autor:in) / Ahopelto, J. (Autor:in) / Reuther, F. (Autor:in) / Pfeiffer, K. (Autor:in) / Bleidiessel, G. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -AMSTERDAM THEN LAUSANNE- C ; 23 ; 23-31

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    9 pages

    ISSN:

    0928-4931

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.1 / 660

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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