An optical microscopy study of dislocations in multicrystalline silicon grown by directional solidification method: Fid-Bau Portal

An optical microscopy study of dislocations in multicrystalline silicon grown by directional solidification method

Chen, N. / Qiu, S. / Liu, B. / Du, G. / Liu, G. / Sun, W.

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Titel:

An optical microscopy study of dislocations in multicrystalline silicon grown by directional solidification method

Beteiligte:

Chen, N. (Autor:in) / Qiu, S. (Autor:in) / Liu, B. (Autor:in) / Du, G. (Autor:in) / Liu, G. (Autor:in) / Sun, W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 13 ; 276-280

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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