TiAlN coatings deposited by triode magnetron sputtering varying the bias voltage: Fid-Bau Portal

TiAlN coatings deposited by triode magnetron sputtering varying the bias voltage

Devia, D. M. / Restrepo-Parra, E. / Arango, P. J. / Tschiptschin, A. P. / Velez, J. M.

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Titel:

TiAlN coatings deposited by triode magnetron sputtering varying the bias voltage

Beteiligte:

Devia, D. M. (Autor:in) / Restrepo-Parra, E. (Autor:in) / Arango, P. J. (Autor:in) / Tschiptschin, A. P. (Autor:in) / Velez, J. M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 6181-6185

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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