Phase evolution of tantalum nitride and tantalum carbide films with PBII parameters: Fid-Bau Portal

Phase evolution of tantalum nitride and tantalum carbide films with PBII parameters

Li, Z. / Gu, L. / Tang, G. / Ma, X. / Sun, M. / Wang, L.

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Titel:

Phase evolution of tantalum nitride and tantalum carbide films with PBII parameters

Beteiligte:

Li, Z. (Autor:in) / Gu, L. (Autor:in) / Tang, G. (Autor:in) / Ma, X. (Autor:in) / Sun, M. (Autor:in) / Wang, L. (Autor:in)

Erschienen in:

RARE METALS -BEIJING- ENGLISH EDITION ; 30 ; 142-145

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1001-0521

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 669

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