Rapid thermal annealing of ITO films: Fid-Bau Portal

Rapid thermal annealing of ITO films

Song, S. / Yang, T. / Liu, J. / Xin, Y. / Li, Y. / Han, S.

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Titel:

Rapid thermal annealing of ITO films

Beteiligte:

Song, S. (Autor:in) / Yang, T. (Autor:in) / Liu, J. (Autor:in) / Xin, Y. (Autor:in) / Li, Y. (Autor:in) / Han, S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 7061-7064

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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