Preparation of P-Type Microcrystal Si:H Films by ECR-PECVD: Fid-Bau Portal

Preparation of P-Type Microcrystal Si:H Films by ECR-PECVD

Zhang, X.Y. / Wu, A.M. / Yue, H.Y. / Hu, J.A. / Wen, L.S.

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Titel:

Preparation of P-Type Microcrystal Si:H Films by ECR-PECVD

Beteiligte:

Zhang, X.Y. (Autor:in) / Wu, A.M. (Autor:in) / Yue, H.Y. (Autor:in) / Hu, J.A. (Autor:in) / Wen, L.S. (Autor:in) / Tan, Y. / Ju, D.

Erschienen in:

Selected, peer reviewed papers from the 7^t^h International Forum on Advanced Material Science and Technology June 26-28, 2011, Dalian, China, IFAMST-7) ; 1287-1290

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 675/677

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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