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(006)-oriented a-Al2O3 films prepared in CO2-H2 atmosphere by laser chemical vapor deposition using a diode laser

You, Y. / Ito, A. / Tu, R. / Goto, T.

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Titel:

(006)-oriented a-Al2O3 films prepared in CO2-H2 atmosphere by laser chemical vapor deposition using a diode laser

Beteiligte:

You, Y. (Autor:in) / Ito, A. (Autor:in) / Tu, R. (Autor:in) / Goto, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B ADVANCED FUNCTIONAL SOLID STATE MATERIALS ; 176 ; 984-989

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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